精密仪器研究中心（简称精仪中心，英文全称Precision Instrument Research Center，英文简称PIRC）依托华中科技大学机械科学与工程学院、光学与电子信息学院、集成电路学院等单位，面向集成电路制造、纳米制造、原子级制造等先进制造过程中的在线测量检测需求，致力于计算测量、计算成像、计算光刻等基础理论与关键技术研究，并开展相应精密仪器设备研制与应用研究，特别是探索非接触、无损、高效的光学和极短波长测量检测技术，旨在实现制造过程和制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性。

精密仪器研究中心目前重点研究但也不局限于光学方法，如光谱椭偏测量、光学散射测量、相干衍射测量、极短波长（EUV、X射线）测量、超快光声测量等技术，以实现对纳米结构乃至原子级结构关键尺寸、套刻、线边粗糙度、线宽粗糙度、全三维形貌的高精高效测量以及颗粒、划痕、桥接、断线、空洞等缺陷的快速高灵敏度检测。

精密仪器研究中心目前也同时研究先进光刻（包括DUV光刻、EUV光刻、电子束光刻）中的若干基础理论与关键技术问题，包括部分相干成像理论、三维掩模效应、光学临近校正、光源掩模优化、逆光刻技术、曲线掩模技术、光刻胶工艺、对准测量、调焦调平测量、波像差检测、偏振像差检测等。