2026年8月14日下午，2026中国仪器仪表学会学术年会“集成电路测量技术与仪器装备”分场活动在合肥滨湖国际会展中心顺利举办。本次活动由中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会承办，来自国内多所高校、科研院所及企业的专家学者和青年科研人员共80余人参会。

分论坛由华中科技大学教授、集成电路测量与仪器分会主任委员刘世元主持并致开场辞。他表示，测量技术与仪器装备是集成电路产业的核心支撑，贯穿芯片研发、制造、封装测试全流程，直接决定工艺水平与产品良率。当前国内集成电路产业正处于自主创新发展的关键时期，高端测量技术与核心仪器装备的攻关突破，是行业和分会持续深耕的方向。他简要介绍了论坛议程，并对学会、承办单位及参会人员的支持表示感谢。

论坛设置特邀专家报告、青年口头报告、优秀成果颁奖等环节。中国科学院微电子研究所研究员周维虎、哈尔滨工业大学教授胡鹏程、清华大学教授谈宜东、同济大学教授邓晓、西安交通大学副研究员张国锋、西南交通大学教授陈磊等专家，分别围绕集成电路量检测、超精密激光干涉、光刻定位检测、纳米计量、先进封装测量、原子级表征等方向作了特邀报告。

来自合肥工业大学、中国计量大学、华中科技大学、天津大学的青年科研骨干，聚焦相位成像、光学表征、衍射成像、薄膜测量、波前测量等方向汇报研究进展。

为鼓励青年学术创新，论坛开展了优秀学术成果评选。经分会专家评审，共遴选出6项优秀成果，覆盖精密测量、光刻制造、缺陷检测等多个方向。谈宜东教授为获奖代表颁发证书。

论坛于17:50圆满结束。刘世元教授在总结中表示，本次论坛内容贴合技术前沿与产业实际，兼顾基础研究与工程应用，感谢所有报告人的精心准备，并对中国仪器仪表学会的指导、合肥工业大学的会务保障表示感谢。同时，他提到分会后续将定期举办学术交流活动，希望各位同仁持续关注与支持。

本次分论坛的成功举办，进一步凝聚了行业科研力量，畅通了产学研交流渠道，为国内集成电路精密测量技术迭代与高端仪器装备自主创新发展提供了良好的学术交流支撑。