测量技术从实现方式上可以大致分为无模型测量技术和基于模型的测量技术。无模型测量技术如传统光学显微镜，可以通过边缘识别算法直接从测得的图像中获取待测样品的几何尺寸。这种“所见即所得”的无模型测量技术的优点是简单、直观，但是在实际应用中往往存在一定的局限性。例如，由于受到光学衍射极限的限制，传统光学显微镜一般难以测量200 nm以下的结构特征。与无模型测量技术相比，基于模型的测量技术往往是基于某种物理场...