刘世元教授，精密仪器研究中心主任；华中科技大学机械科学与工程学院，光学与电子信息学院、集成电路学院联聘教授，博士生导师；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，先进光刻机技术教育部工程研究中心常务副主任；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才；英国物理学会(IOP)会士，中国微米纳米技术学会会士；国际测量与仪器委员会(ICMI)常务委员，国际标准...

汤自荣，华中科技大学机械学院教授，博士生导师，主要从事微纳制造和纳米测量领域的研究工作。在先进电子材料，微纳制造和测量技术及装备开发等方面积累了丰富的经验和研究基础，主持和参与了自然科学基金等国家级科研项目10多项，与相关领域企业开展了深度合作和技术开发。授权国家专利30余项，发表学术论文100余篇。机械学院个人主页：https://mse.hust.edu.cn/info/1148/14...

江浩，华中科技大学机械科学与工程学院教授，博士生导师。2011年在美国佛罗里达理工学院获机械工程博士学位。2011年至2014年在美国德克萨斯大学阿灵顿分校任博士后研究员、兼职讲师。2014年10月起任职华中科技大学。长期从事光刻成像理论与计算光刻技术、纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造在线缺陷检测技术与装备等方面的研究工作，致力于精密机械、光学工程、仪器科学...

夏奇，华中科技大学机械学院教授、博士生导师。主要从事结构拓扑优化、计算光刻等方面的研究。近年来，获教育部自然科学一等奖1项（排名第三），作为负责人主持国家自然科学基金4项，获湖北省自然科学基金杰出青年项目1项。以第一或通讯作者发表SCI论文50余篇，获SCI他引1000余次，申请和授权国际国内发明专项20余项。机械学院个人主页：https://mse.hust.edu.cn/info/1148/14...

陈修国，华中科技大学机械学院教授、博士生导师，日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员，国家优秀青年科学基金获得者。主要从事光学纳米测量技术与仪器，集成电路制造在线测量技术与装备，先进仪器研制与新型光电、能源材料表征测量等方面的研究工作。近年来，作为负责人主持国家自然科学基金5项，作为骨干人员参与国家自然科学基金重大科研仪器研制项目、首批国家重大科学仪...

谷洪刚，华中科技大学机械学院教授、博士生导师，国家级青年人才、中国科协科技智库青年人才。研究方向为微纳光学测量，近年来主要从事先进椭偏测量技术与仪器、计算光学成像技术与仪器、集成电路在线测量检测技术与装备、微纳光场调控与应用、低维半导体材料表征、光电器件光学模拟与优化设计等方面研究工作。近年来，主持国家自然科学基金（原创探索/面上/青年）、湖北省重...

王健，华中科技大学机械学院教授、博士生导师，湖北省高层次人才，入选英国物理学会“表面计量”新兴领袖，主要从事先进机械电子、集成电路制造复杂表/界面光学精密测量表征技术研究。近年来，主持国家自然科学基金/重点研发子课题4项，作为骨干参与欧盟框架项目、国基金重点项目等10余项，在IEEE TMECH/TIM, ADV ENG INFORM等国际权威期刊发表学术论文70余篇；担任ISO国际标...

余文勇，华中科技大学机械学院副教授、博士生导师，IEEE高级会员，中国机械工程学会高级会员，中国机械工程学会成组与智能集成技术分会委员；主要研究基于机器视觉和人工智能的工业异常检测技术与装备。近年来，主持国家自然科学基金/重点研发子课题3项，作为骨干参与重点研发项目等10余项，在IEEE TII，TMC，TASE，TCSVT等国际权威期刊发表学术论文30余篇；获授权发明专利20...

刘佳敏，华中科技大学机械学院讲师。主要从事椭偏测量应用、IC光刻缺陷检测、极短波长计算光刻等方面的研究。近年来，获中国仪器仪表学会技术发明一等奖1项（排名第四）、极端制造期刊最佳论文奖（共同一作），作为负责人主持国家自然科学基金青年基金(C类)、中国科协青年托举、湖北省JD项目课题、ZG国家实验室委托项目、国资博士后计划(B档)等项目9项。以第一或通讯作者发表S...