刘佳敏，华中科技大学机械学院讲师。主要从事椭偏测量应用、IC光刻缺陷检测、极短波长计算光刻等方面的研究。近年来，获中国仪器仪表学会技术发明一等奖1项（排名第四）、极端制造期刊最佳论文奖（共同一作），作为负责人主持国家自然科学基金青年基金(C类)、中国科协青年托举、湖北省JD项目课题、ZG国家实验室委托项目、国资博士后计划(B档)等项目9项。以第一或通讯作者发表SCI论文20余篇，获SCI他引400余次，申请和授权国际国内发明专项30余项。
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