刘世元教授，精密仪器研究中心主任；华中科技大学机械科学与工程学院，光学与电子信息学院、集成电路学院联聘教授，博士生导师；华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，先进光刻机技术教育部工程研究中心常务副主任；国家杰出青年科学基金获得者，国家科技创新领军人才；英国物理学会(IOP)会士，中国微米纳米技术学会会士；国际测量与仪器委员会(ICMI)常务委员，国际标准化组织(ISO)技术委员会委员，中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会主任委员，中国光学学会光刻技术专业委员会副主任委员，中国机械工程学会半导体装备分会副主任委员，中国微米纳米技术学会微纳米测量与仪器分会副主任委员。主要研究方向为计算成像与计算光刻、纳米光学测量技术与仪器、集成电路制造在线测量检测技术与装备等。主持国家自然科学基金（7项，包括杰青、重大仪器、重点项目）、国家重大仪器专项、国家科技重大专项等20余项，发表SCI论文300余篇，获授权发明专利200余件，牵头获湖北省技术发明一等奖、中国仪器仪表学会技术发明一等奖等科技奖励。

机械学院个人主页：https://mse.hust.edu.cn/info/1148/1484.htm

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