2013年8月8日至10日，NOM研究组博士生李伟奇在刘世元教授的带领下赴贵阳参加国际光学工程学会(SPIE)主办的第6届国际精密机械测量研讨会（6th International Symposium on Precision Mechanical Measurement, ISPMM2013)。

会议期间，刘世元教授做了特邀报告“Computational metrology for nanomanufacturing”。针对纳米测量面临的新挑战，提出了计算测量的基本概念和特点，探讨了计算测量的基础科学问题及其普适求解方法。结合NOM课题组的最新研究成果，给出了计算测量的若干研究实例，表明计算测量可望为批量化纳米制造过程中的在线精确测量提供一种快速、低成本、非破坏性的新途径。报告内容引起了德国PTB、台湾成功大学、香港科技大学、中国计量研究院等单位诸多学者的广泛关注和讨论。

李伟奇博士生以口头报告的形式展示了自己的最新研究进展“Correction on the effect of numerical aperture in optical scatterometry”，对光学散射测量中数值孔径的影响进行了深入分析，并提出了快速准确的修正方法。报告得到了与会专家的认可与好评。

ISPEMM是一个关于精密工程测量方法与测量仪器的国际研讨会，会议旨在为国内外精密工程测量与仪器方面的专家和青年学者提供一个交流和展示自己研究成果的平台，以促进国内外同行之间的学术交流。本次研讨会由国际测量与仪器委员会与合肥工业大学联合承办，会议论文集将由SPIE出版。