功能介绍

小角X射线散射仪采用高亮度的液态金属靶X射线光源、高准直度多层膜反射镜和无读取噪声的X射线探测器，可满足纳米制造中纳米结构测量、纳米材料特征尺寸测量及原位测量需求。应用于纳米制造中纳米结构周期、截面参数的表征测量； 应用于有机大分子溶液、纳米粒子粉末及溶液测量，提取粒子尺寸分布信息；应用于纳米材料的X射线衍射分析，进行组分分析和晶格常数测量。

主要技术参数

1) 使用24keV高能X射线，X射线通量不低于4.5×10⁷phs/s；

2) 光束尺寸(FWHM)≈1.1 mm×1.1 mm，光束发散度不高于0.35mrad，X射线单色性高于99%；

3) 无散射狭缝准直系统，狭缝运动精度10 μm；

4) 散射矢量测试范围0.03 - 42.5 nm-1，散射矢量测量精度优于0.004nm^-1；

5) 探测器无读取噪声，点扩散函数小于1pixel；

6) 七自由度样品位移台，移动精度0.2 μm，转动位移台精度0.001°；

大仪预约平台网站为：http://ilab-mse.hust.edu.cn/