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学术交流 | NOM研究组成员参加SPIE-ISPEMI 2010国际会议

作者:时间:2010-08-15阅读量:
  

NOM研究组陈修国博士生和吴小飞硕士生于2010年8月9日至11日赴杭州参加了在此举行的第6届SPIE国际精密工程测量与仪器研讨会(6th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, ISPEMI 2010),两位同学同与会代表分享了他们各自撰写的论文。陈修国的论文Modeling and simulation of through-focus images for dimensional analysis of nanoscale structures主要讨论了基于离焦扫描成像的纳米结构测量方法的光学特性建模及其仿真分析;吴小飞的论文Comparison of three TCC calculation algorithms for partially coherent imaging simulation主要分析了光刻仿真中的重要系数TCC(交叉传递系数,Transmission Cross Coefficient)的三种计算方法,并比较了各种计算方法的计算精度与速度。

ISPEMI是一个关于精密工程测量方法与测量仪器的国际研讨会,会议旨在为国内外精密工程测量与仪器方面的专家和青年学者提供一个交流和展示自己研究成果的平台,以促进国内外同行之间的学术交流。在本次会议之前,ISPEMI已经成功举办了5届,并且在精密工程测量领域形成了一定的学术影响力。本次的研讨会由中国计量学院与合肥工业大学联合举办,将由SPIE出版论文集。


ISPEMI会议照片

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