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学术交流 | 美国oLambda公司尉海清博士来访我校并作学术报告

作者:时间:2011-05-17阅读量:
  

应数字制造装备与技术国家重点实验室邀请,美国oLambda公司首席科学家尉海清博士于2011年5月9日至13日期间访问我校,并于5月10日上午作了一场题为“快速、严格及可变参数光刻仿真(Fast, Rigorous, and Variational Lithography Simulations)”的学术报告。报告由刘世元教授主持,来自于数字制造装备与技术国家重点实验室、武汉光电国家实验室(筹)、数学与统计学院相关专业的教师、研究生聆听了报告。

在讲座中,尉博士首先简要介绍了光刻仿真在半导体设计与制造中的重要应用以及目前实现光刻仿真的主要方法与特点,重点强调了建立快速、严格及可变参数空间像模型的重要意义。接下来,尉博士对该空间像模型建立的原理及方法进行了讲解,对其中用到的数学物理方法进行了深入阐述。针对尉博士的报告,现场观众表现出极大的兴趣并积极向尉博士提出自己的相关疑问,尉博士也一一对师生们提出的问题进行了耐心细致的回答。

尉博士于1993年毕业于北京大学物理系,随后赴加拿大McGill University继续深造并获得博士学位,近年来在美国硅谷创立oLambda公司并任首席科学家,在光通信、计算光刻等领域有多年的研究造诣,撰写过30余篇高水平学术论文并拥有20多项美国发明专利。


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