NOM研究组马园硕士生于2011年8月7日至11日在云南丽江参加了第7届国际精密工程测量与仪器研讨会 (The 7th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, ISPEMI 2011)，并报告了研究论文“Estimation of the convergence order of rigorous coupled wave analysis for OCD metrology”。报告主要针对光学测量领域，讨论了目前广泛应用于电磁场建模的严格耦合波算法的收敛级次与结构参数的关系，并给出收敛级次的近似估计。

本次ISPEMI 2011会议由合肥工业大学主办，国际光学工程学会 (SPIE)、北京信息科技大学、台湾大学和哈尔滨工业大学协办。会议上讨论了微纳米测量理论与方法、光学器件设计、精微测量/制造、表面测量等方面的最新进展。