应中国科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室主任邢廷文研究员和胡松研究员邀请，刘世元教授于2012年8月8日访问该所并做特邀学术讲座“偏振光学及其在椭偏测量与光学光刻中的应用”。在讲座中，刘世元教授首先简要介绍了偏振光及其数学描述、偏振器件等基础知识，然后结合其所在NOM研究组的最新研究成果，重点介绍了偏振光在椭偏测量与光学光刻中的应用，并特别分享了NOM研究组在计算光刻和计算测量方面的最新研究进展。

中国科学院光电技术研究所坐落于风景秀丽的成都市，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所。讲座结束后，刘世元教授先后参观了该所微细加工光学技术国家重点实验室、先进光学制造中心等研究设施，对该所在自适应光学、光束控制、微纳光学等领域取得的多项重大研究成果留下了深刻印象。

此次参观访问期间，刘世元教授与邢廷文研究员、胡松研究员及其他科研人员进行了广泛交流，增进了彼此了解，并深入探讨了今后在微纳测量、光刻设备研发等方面可能的学术合作。

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