2019年2月14日，应数字制造装备与技术国家重点实验室刘世元教授邀请，荷兰代尔夫特理工大学的邵屹峰博士来我院进行学术交流，做了题为“Spatial coherence measurement and aberration retrieval for lithography tools”的学术报告。报告由刘世元教授主持，纳米光学测量研究中心的老师和同学参加了本次报告。

邵逸峰目前是代尔夫特理工大学光学研究小组与ASML研究部门合作项目的博士后研究员。他拥有中山大学的学士学位，以及法国高等光学学院和荷兰代尔夫特理工大学的两个硕士学位。在2013年至2018年期间，他在代尔夫特理工大学光学研究小组攻读博士学位。他的博士项目涉及光学系统设计方法学，空间相干性测量，像差检索，计算成像（例如ptychography）和各种图像恢复技术的研究。

在本次学术报告中，邵屹峰首先说明了对于光刻工具，像差校准和照明源的空间相干性的测量对于实现期望的成像质量是至关重要的。他随后指出了这项研究中的两个关键技术问题：第一，随着分辨率的降低和FOV的增加，必须通过瞳孔坐标和FOV坐标的4维函数来描述像差；第二，空间部分相干场应该由四维相互相干函数描述，该函数取决于两个独立变量的位置。然而，通常已知测量和处理4维是非常耗时的。最后，他讲述了在TUDelft开发的新方法。 学术报告结束后，邵屹峰博士就感兴趣的问题与在场师生进行了解答和交流。