2021年10月15日至17日，NOM研究组的刘世元教授、陈修国教授带领课题组部分成员赴青岛参加了第十届国际精密机械测量会议（ISPMM2021），会议围绕“现代精度理论与应用，光学测量，传感技术与应用，质量工程”等方面开展，多位来自国内和国际在本方面的专家通过线下和线上的方式参加了本次会议并分享了精彩报告。

会上，陈修国教授受邀做了题为“Optical nanometrology for IC manufacturing at advanced technology nodes:

challenges and future trends”的邀请报告，介绍了在不断进步的IC制造中的光学测量方法，以及这些方法面临的挑战和未来趋势。

博士生杨天娟做了题为“Simulation of the transmission small angle X-ray scattering for three dimensional architectures”的报告，介绍了小角X射线散射在IC测量中的原理和应用。硕士生刘硕做了题为“X-ray scatterometry using deep learning”的报告，介绍了X射线散射仪和深度学习相结合下的新应用。大家的报告引起了大家广泛的兴趣。

此外，陈超，王才，盛胜，宋黎宣，张家豪等同学制作海报参加展示，与来自不同学校的同学互相分享学术上的进展和感受。

在本次会议上，硕士生刘硕获得了最佳论文奖（best paper award）。会后，NOM课题组参会成员进行合照留念。