为落实立德树人根本任务，建设一流导师队伍，学校开展了第四届优秀研究生导师团队评选。机械科学与工程学院集成电路测量技术与装备导师团队成功获评。

团队由刘世元教授担任负责人。团队传承杨叔子院士“育人而非制器”的教育理念，坚持“强基广识、学科交叉、做学合一、以德立身”的培养准则。团队自主研制出国内首台高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪、国际首台亚微米分辨成像穆勒矩阵椭偏仪，获授权发明专利200余件，荣获湖北省技术发明一等奖、中国仪器仪表学会技术发明一等奖；支撑研制国内首台IC在线膜厚/关键尺寸（OCD）在线测量装备，有力支撑了集成电路制造国产化。团队培养了一批优秀研究生，多名学子入选省部级以上人才培养计划，担任企业中高层领导或技术骨干。

新闻报道：

华中科技大学新闻网：https://news.hust.edu.cn/info/1003/58617.htm

第四届“优秀研究生导师和导师团队”风采：https://weixin.qq.com/sph/AwuEkVvHeA